EN 62047-8-2011 半导体设备.微机电设备.第8部分:薄膜拉伸性能测量用带弯曲试验方法(IEC62047-8-2011).德文版EN62047-8-2011

作者:标准资料网 时间:2024-05-29 23:41:01  浏览:8753   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part8:Stripbendingtestmethodfortensilepropertymeasurementofthinfilms(IEC62047-8:2011);GermanversionEN62047-8:2011
【原文标准名称】:半导体设备.微机电设备.第8部分:薄膜拉伸性能测量用带弯曲试验方法(IEC62047-8-2011).德文版EN62047-8-2011
【标准号】:EN62047-8-2011
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:2011-12
【实施或试行日期】:2011-12-01
【发布单位】:欧洲标准学会(EN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Bendtesting;Characteristics;Components;Definitions;Films;Layers;Materials;Measurement;Measuringtechniques;Microelectronics;Microsystemtechniques;Properties;Samples;Semiconductordevices;Strips;Systemengineering;Tensilestrain;Testing;Testingconditions;Thinfilms;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:20P;A4
【正文语种】:英语